(原标题:晶合集成公开半导体结构及其制作方法专利)
企查查数据显示,晶合集成(02249.HK)公开半导体结构及其制作方法专利,申请日期为2026年9月9日。专利摘要显示,本申请涉及一种半导体结构及其制作方法。半导体结构的制作方法在衬底上形成栅极结构,在栅极结构两侧的衬底上形成第一层间介质层,在栅极结构至少一侧的第一层间介质层中形成凹槽,向凹槽中填充可膨胀材料,可膨胀材料在预设处理条件下能够发生体积不可逆膨胀,在预设处理条件下处理凹槽中的可膨胀材料,使可膨胀材料的体积膨胀,在凹槽中形成应力诱变部,应力诱变部能够对栅极结构产生横向挤压应力,横向挤压应力通过栅极结构传递至下方的沟道区,能够提升沟道区的载流子迁移率,进而增大器件的驱动电流并提高响应速度。